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ARTICLESRUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀是一種高性能的橢圓偏光計(jì),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。以下是其詳細(xì)規(guī)格參數(shù): 波長(zhǎng):該設(shè)備配備532nm的激光源。 樣品尺寸:適用于12英寸晶圓。 測(cè)量功能: 薄膜厚度、折射率、光學(xué)常數(shù)和材料屬性等。 可以進(jìn)行無(wú)損和原位測(cè)量,具有出色的重復(fù)性、準(zhǔn)確性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
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