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晶圓檢測儀

簡要描述：KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測儀是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測試和計(jì)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及研發(fā)領(lǐng)域。該設(shè)備具有高精度和可重復(fù)性的特點(diǎn)，能夠提供精確的微觀級測量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機(jī)器人和光學(xué)檢查功能，以及多軸平臺，用于實(shí)現(xiàn)精確的微米級測量。Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學(xué)測量的準(zhǔn)確性，并且具備自動化的樣品處理能力，可以進(jìn)行檢查區(qū)域的成像

  • 產(chǎn)品型號：Puma 9100
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新日期：2024-09-23
  • 訪  問  量：313

詳細(xì)介紹

KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測儀

是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測試和計(jì)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及研發(fā)領(lǐng)域。該設(shè)備具有高精度和可重復(fù)性的特點(diǎn)，能夠提供精確的微觀級測量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機(jī)器人和光學(xué)檢查功能，以及多軸平臺，用于實(shí)現(xiàn)精確的微米級測量。

此外，Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學(xué)測量的準(zhǔn)確性，并且具備自動化的樣品處理能力，可以無限制地進(jìn)行檢查區(qū)域的成像。該設(shè)備還支持暗場缺陷檢測，這使得它在識別電子制造過程中的潛在缺陷方面表現(xiàn)出色。

總體而言，KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圓測試系統(tǒng)，適用于各種半導(dǎo)體制造和研究應(yīng)用，提供了高度精確的測量能力和靈活的部署方案。

Puma 9100概述

自動化晶圓測試和計(jì)量設(shè)備

設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)、研發(fā)應(yīng)用，提供高精度和重復(fù)性

主要功能

高分辨率成像

無限制檢查區(qū)域

自動化樣品處理能力

技術(shù)特點(diǎn)

多軸定位精確微米級測量

圖像傳感器和智能用于準(zhǔn)確的光學(xué)測量

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)先進(jìn)計(jì)量和晶圓測試設(shè)備

為識別電子制造過程中的潛在缺陷提供高度精確的測量能力


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